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晶圆切割保护膜的优势

2021年08月04日
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晶圆切割保护膜是以特殊聚乙烯(PE)塑料膜为基料:性质柔软·粘着性能好·容易剥离·剥离无残胶,PE.PVC保护膜较大的优点是被保护的产品在生产加工.运输.贮存和使用过程不受污染.划伤.腐蚀,保护原有的光洁亮泽的表面,从而提高产品的质量和竞争力。

晶圆切割保护膜主要应用于晶圆切割当中。其材质耐高温,能够保护被粘贴物品不被损坏,这就是晶圆切割保护膜较重要的优点。 在半导体晶圆加工过程中,特别是后期晶圆封装测试的晶圆切割后捡取晶粒的过程中,往往因为切割后的小晶粒在与切割膜剥离的过程中很容易产生静电,对晶粒的功能性造成损伤,从而导致后续测试中良率的降低。

目前市场已有部分含有防静电涂层的保护膜以起到稳固保护的作用,但这种目前保护膜只是简单在材料表面做了防静电处理,在使用过程中仍然会有静电压偏大的现象,在一些对静电要求很高的电子零件切割的领域使用受到限制。

目前晶圆切割保护膜一般包括热减粘保护膜与uv减粘保护膜,这些保护膜一般会在储存时间较长或高温情况下虽然后期剥离时经过减粘后粘合力变小,但胶粘层的小分子会残留在被贴合物体表面,给被贴合物体造成污染;此外,目前国内制备的保护膜在减粘前的剥离强度较低而在减粘后剥离强度较高,不能实现高准确度的固定以及高效的捡取。

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